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 简单光学系统的宽光谱点扩散函数估计

郑云达 黄 玮 潘 云 徐明飞 贾树强 张晓菲 卢勇男

[摘要]为了准确获取简单光学系统的点扩散函数(PSF), 提升图像复原质量, 本文提出了一种基于PSF测量的宽光谱PSF估计方法。首先, 测量了光学系统的窄带PSF, 并结合图像匹配算法, 标定了实际光学系统中的探测器位置和光轴中心。。。

 PDF全文中国光学 | 2019, 12(06):1418

 大视场高像质简单光学系统的光学-算法协同设计

郑云达 黄 玮 徐明飞 潘 云 贾树强 张晓菲 卢勇男

[摘要]为了实现高像质相机低成本、小型化的需求,本文提出了一种大视场简单光学系统的光学-算法协同设计方法,并通过图像复原算法校正简单光学系统的残余像差。首先,针对大视场光学系统,对空间变化的交叉通道去卷积算法进。。。

 PDF全文中国光学 | 2019, 12(05):1090

 核电站最小安全系统电磁脉冲效应试验研究

束国刚 杜子韦华 黄 玮 陈宇浩 陈卫华 周 熠 翟守阳 何 奇 谢彦召

[摘要]高空电磁脉冲(HEMP)可通过线缆、孔缝等耦合通道进入电子设备, 对各种电子化设备造成暂时甚至永久损伤。考虑到核电站的安全防护等级要求极高, 因此有必要研究强电磁脉冲作用下核电站内电子系统的易损性和薄弱环节。首...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2018, 30(10):103203

 条纹投影与相位偏折测量技术研究进展

刘 东 严天亮 王道档 杨甬英 黄 玮

[摘要]条纹投影和相位偏折测量术可用于精确地测量待测物面形, 在全场光学三维轮廓测量领域具有较好的发展前景。首先, 介绍了条纹投影和相位偏折测量技术的基本原理, 重点是这两种技术中的相位提取技术、摄像机定标技术等关...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(09):0917001

 遗传算法在离轴四反光学系统设计中的应用

徐奉刚 黄 玮

[摘要]现有的光学设计软件多依赖初始结构的选取,故提出了一种基于遗传算法的四反射光学系统初始结构求解方法,以获取像质良好和特定布局的初始结构。根据初级像差理论,对同轴四反光学系统进行像差分析,建立了由带权重的。。。

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(08):2076

 稀疏阈值的超分辨率图像重建

何 阳 黄 玮 王新华 郝建坤

[摘要]为了解决基于字典学习的超分辨重构算法耗时过长的问题,提出了基于稀疏阈值模型的图像超分辨率重建方法。首先,将联合字典理论与图像块稀疏阈值方法相结合,训练得到高、低分辨率过完备图像字典对。接着,通过稀疏阈...

 PDF全文中国光学 | 2016, 9(05):532

 空间变化PSF非盲去卷积图像复原法综述

郝建坤 黄 玮 刘 军 何 阳

[摘要]传统的图像复原一般认为点扩散函数(PSF)是空间不变的, 实际光学系统由于受到像差等因素的影响, 并非严格的线性空间不变系统, 基于空间变化PSF的非盲去卷积图像复原法逐渐体现其优越性。空间变化PSF的非盲去卷积图像复...

 PDF全文中国光学 | 2016, 9(01):41

 反射式自由曲面头盔显示器光学系统设计

刘 军 黄 玮

[摘要]头盔显示器(HMD)作为一种头戴目视设备, 具有小型化、轻量化的特点, 同时为了获得良好的佩戴体验, 要求合理的出瞳距、出瞳直径以及视场。为了同时满足头盔显示器的上述要求, 采用紧凑的双反射镜结构来满足头盔显示器对...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(10):1018001

 光学非球面面形非零位检测的回程误差校正

师途 臧仲明 刘东 杨甬英 种诗尧 张磊 白剑 沈亦兵 苗亮 黄玮

[摘要]光学非球面面形的非零位检测较零位检测而言具有更强的通用性。详细分析了非球面非零位检测中回程误差的产生机理,结合校正方法将其分为可预知回程误差和不可预知回程误差两部分,分析其对最终检测结果的影响。然后介...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0812006

 径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用

贾树强 黄玮 徐象如 姚长呈

[摘要]针对精密反射镜的重力变形,提出了一种基于径向预紧力的变形补偿方法。以高数值孔径(NA)投影光刻物镜中的反射镜为研究对象,建立了反射镜的受力模型,定性分析了径向预紧力对反射镜重力变形的影响规律。利用有限元分...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(04):0422006

 基于Wassermann-Wolf方程的离轴三反光学系统设计

徐奉刚 黄玮 徐明飞

[摘要]为了克服传统三反射系统设计中初始结构求解复杂、使用非球面时收敛缓慢的问题, 提出了基于Wassermann-Wolf微分方程的离轴三反光学系统设计方法。根据反射定律和正弦条件, 推导了一组用于求解同轴三反初始结构的Wasse...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(12):1222002

 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计

徐明飞 庞武斌 徐象如 王新华 黄玮

[摘要]针对45 nm节点投影光刻物镜的应用, 开展了工作波长为193 nm的深紫外浸没式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径(NA)为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜, 并对...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(04):740

 掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响

杨旺 黄玮 尚红波

[摘要]为使光刻投影物镜满足光刻工艺的要求, 研究了掩模位置误差对光刻投影物镜引入的畸变。采用勒让德多项式描述光刻投影物镜的畸变, 并应用勒让德多项式对光刻投影物镜进行了畸变分析及畸变补偿。利用以上方法, 对一台工...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(03):469

 多探测器拼接成像系统实时图像配准

王新华 黄玮 欧阳继红

[摘要]依据已设计完成的基于同心球透镜的四镜头多探测器阵列拼接成像系统, 对该系统图像拼接配准过程所采用的特征检测提取、特征向量匹配与筛选、空间变换模型参数估计等算法进行了研究。首先, 采用Fast-Hessian检测子提取...

 PDF全文中国光学 | 2015, 8(02):211

 高精度Camera Link相机视频采集处理系统的设计

庞飞龙 章明朝 周跃 闫丰 隋永新 黄玮

[摘要]在电晕探测系统中, 为满足高精度Camera Link接口相机的高实时视频采集、处理需要, 同时降低系统成本及复杂度, 提出了一种通过DM642的视频端口扩展Camera Link接口的方法。与一般采用FPGA作为处理前端不同, 该方法基于...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(02):314

 微镜头阵列球面排布方法研究

庞武斌 黄玮 王新华 贾树强

[摘要]为了解决微镜头阵列在球面上的排布问题,提出了一种通用的基于正二十面体阵列点微移动排布方法。采用与排布球面同心正二十面体点阵投射方法获取微镜头中心点在球面上的初始排布。以弦长率和填充率为评价函数,采用点...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(05):0522003

 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究

徐象如 黄玮 贾树强 徐明飞

[摘要]热像差是导致光刻物镜工作状态下像质劣化的主要原因之一。针对同轴两反式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的结构特点,提出了将元件位移法和元件分区加热法相结合,共同补偿热像差的方案。元件位移法通过改变元件的间隔、。。。

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(10):1011003

 新型辐射变色凝胶的紫外辐照研究

孙鹏 胡娟 傅玉川 李磊 王潇 黄玮 蒋波

[摘要]将类丁二炔化合物自组装成纳米囊泡后,均匀分散于凝胶载体中,研制出一种新型的辐射变色凝胶剂量计.用电镜观测了囊泡形貌,采用CL-1000型紫外交联仪对凝胶进行辐照,测试并研究了凝胶对紫外辐照的变色响应、辐射后效应、...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(07):076002

 辐照还原法制备Au掺杂MF气凝胶

钟铭龙 王朝阳 付志兵 黄玮 唐永建

[摘要]利用辐照还原法在500 kGy辐照剂量下制备了Au掺杂MF有机气凝胶。通过X射线衍射(XRD)、能量色散光谱仪(EDX)和透射电子显微镜(TEM)测试证实了辐照法成功地制备出Au掺杂MF有机气凝胶复合物。EDX和TEM照片表明辐照处理后A...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(02):024156

 高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化

徐明飞 黄玮

[摘要]考虑高数值孔径(NA)投影光刻物镜视场较大、波像差分布不均匀, 本文提出了一种自动优化设计方法来降低设计过程中出现的全视场最大波像差。该方法通过将一个自动调节采样视场权重的循环程序附加在光刻物镜的局部优化程...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(08):2143

 胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响

贾树强 黄玮 庞武斌

[摘要]以45 nm浸没式光刻物镜中采用的三点支撑反射镜为研究对象,建立了胶层连接的三点边缘支撑结构模型,用以确定胶层厚度对三点支撑反射镜面形变化的影响.分析了重力作用下三点支撑反射镜的面形变化情况,通过解析表达式描述...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(07):2005

 差分五棱镜扫描法在波前检测中的应用

汤兆鑫 黄玮 许伟才 刘立峰 徐象如

[摘要]为了实现高精度大口径平行光管波前检测, 评价平行光管出射波前质量, 提出了采用差分五棱镜扫描波前检测方法检测平行光管。该方法为五棱镜扫描法的优化方法, 通过测量波前斜率的改变得到波前曲率的信息来重构波前, 从。。。

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(06):1003

 基于同心球透镜的四镜头探测器阵列拼接成像系统

徐明飞 黄玮

[摘要]为了同时实现成像系统的大视场、长焦距和高分辨率, 设计了基于同心球透镜的四镜头探测器阵列拼接成像系统。首先, 阐述了四镜头探测器阵列拼接方案的原理; 介绍了同心球透镜的结构特点, 阐述了其成像优点。然后, 完成...

 PDF全文中国光学 | 2014, 7(06):936

 大视场像方远心离轴三反射镜光学系统设计

刘军 黄玮 许伟才 徐明飞

[摘要]基于三反射镜的三级相差理论,通过自定义优化函数,并使用遗传算法寻找合适的三反射镜光学系统的初始结构参数,利用光学设计软件ZEMAX 对初始结构进一步离轴优化,设计出了视场角为18°×0。6°,焦距为1。。。

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(12):122203

 投影光刻物镜的计算机辅助装调

赵菲菲 唐剑宇 黄玮 许伟才

[摘要]针对投影光刻物镜苛刻的像质要求,将计算机辅助装调(CAA)技术引入投影光刻物镜的装调过程中,建立了相应的数学模型。选取33个视场Fringe Zernike多项式的4~37项,以及畸变作为校正对象,并选取19个结构参量作为补偿器。。。

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(06):0622001

 γ-射线辐射还原法制备金属铜掺杂MF气凝胶

黄小丽 付志兵 黄玮 袁磊 钟铭龙 唐永建 王朝阳

[摘要]采用γ射线辐射还原法, 在不同总吸收剂量条件下制备了金属Cu掺杂三聚氰胺-甲醛(MF)有机气凝胶复合材料。利用X-射线衍射仪(XRD)、电感耦合等离子体吸收光谱(ICP-AES)仪和扫描电子显微镜, 测试证实了辐射还原法能成功地...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(02):022013

 材料折射率非均匀性对极小像差光学系统像质的影响

杨添星 黄玮 尚红波 许伟才 赵菲菲

[摘要]为了分析光学材料折射率非均匀性对极小像差光学系统成像质量的影响,从而指导系统的进一步优化设计,提出一种三维仿真和光线追迹方法。该方法是在Zemax中通过自定义的程序,构建材料折射率均匀性的三维分布,设置光线...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(11):112202

 高成像质量光学系统的元件旋转补偿

刘春来 黄玮 尚红波 许伟才 杨旺

[摘要]在高成像质量的光学系统的集成制造中,受元件的面形和材料的均匀性误差的影响很难满足极限的成像质量要求,必须采用多种像质补偿措施,元件的旋转补偿是其中必要的像质补偿措施之一。提出了一种光学系统光学元件旋转。。。

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(09):0911001

 光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析

杨旺 黄玮 许伟才 尚红波

[摘要]研究了光学表面中频误差对杂散光的影响规律,提出使用功率谱密度函数描述表面中频误差,并通过该描述方法进行杂散光分析;同时利用等效光瞳空间频率对表面中频误差进行公差分析。利用以上方法,对工作波长为193 nm、...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(09):0922001

 辐射法制备Pd掺杂碳气凝胶粉末

钟铭龙 黄玮 付志兵 杨曦 刘西川 唐永建 王朝阳

[摘要]利用辐射还原法, 在100, 200, 500 kGy辐射剂量下制备了金属Pd掺杂的碳气凝胶粉末。X射线衍射(XRD), 扫描电子显微镜(SEM)和能谱测试证实了辐射法成功地制备出Pd掺杂的碳气凝胶粉末复合物。SEM照片表明, 还原生成的金属...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(03):633-636

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