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   将选定结果: 

 简单光学系统的宽光谱点扩散函数估计

郑云达 黄 玮 潘 云 徐明飞 贾树强 张晓菲 卢勇男

[摘要]为了准确获取简单光学系统的点扩散函数(PSF), 提升图像复原质量, 本文提出了一种基于PSF测量的宽光谱PSF估计方法。首先, 测量了光学系统的窄带PSF, 并结合图像匹配算法, 标定了实际光学系统中的探测器位置和光轴中心...

 PDF全文中国光学 | 2019, 12(06):1418

 大视场高像质简单光学系统的光学-算法协同设计

郑云达 黄 玮 徐明飞 潘 云 贾树强 张晓菲 卢勇男

[摘要]为了实现高像质相机低成本、小型化的需求,本文提出了一种大视场简单光学系统的光学-算法协同设计方法,并通过图像复原算法校正简单光学系统的残余像差。首先,针对大视场光学系统,对空间变化的交叉通道去卷积算法进...

 PDF全文中国光学 | 2019, 12(05):1090

 径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用

贾树强 黄玮 徐象如 姚长呈

[摘要]针对精密反射镜的重力变形,提出了一种基于径向预紧力的变形补偿方法。以高数值孔径(NA)投影光刻物镜中的反射镜为研究对象,建立了反射镜的受力模型,定性分析了径向预紧力对反射镜重力变形的影响规律。利用有限元分。。。

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(04):0422006

 微镜头阵列球面排布方法研究

庞武斌 黄玮 王新华 贾树强

[摘要]为了解决微镜头阵列在球面上的排布问题,提出了一种通用的基于正二十面体阵列点微移动排布方法。采用与排布球面同心正二十面体点阵投射方法获取微镜头中心点在球面上的初始排布。以弦长率和填充率为评价函数,采用点...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(05):0522003

 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究

徐象如 黄玮 贾树强 徐明飞

[摘要]热像差是导致光刻物镜工作状态下像质劣化的主要原因之一。针对同轴两反式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的结构特点,提出了将元件位移法和元件分区加热法相结合,共同补偿热像差的方案。元件位移法通过改变元件的间隔、...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(10):1011003

 胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响

贾树强 黄玮 庞武斌

[摘要]以45 nm浸没式光刻物镜中采用的三点支撑反射镜为研究对象,建立了胶层连接的三点边缘支撑结构模型,用以确定胶层厚度对三点支撑反射镜面形变化的影响。分析了重力作用下三点支撑反射镜的面形变化情况,通过解析表达式描述。。。

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(07):2005

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