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基于亚波长光栅结构的硅基液晶器件模型研究

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摘要

金(Au)亚波长光栅被溅射到经典硅基液晶(Liquid Crystal on Silicon,LCoS)的ITO电极上,它与薄液晶盒和底层铝电极组成复合共振波导结构,简称GLCoS。与基于液晶传播效应的LCoS的物理截然不同,在GLCoS中,上电极的表面等离激元与光栅槽中的TM-FP (TM-Fabry Pérot)共振耦合,诱导一个零阶反射的相位调制;铝电极既是反射背板又与金光栅、薄液晶盒组成波导,使共振耦合得到增强。在操控光波阵面的同时,GLCoS也作为电控器件,施加电压改变液晶的折射率,进而控制开腔FP的边缘介质条件,达到有源2π相位调制的目的。本文给出GLCoS器件模型的理论分析、数值模拟以及原理性实验器件制作和测试结果,实验结果表明该结构可以用于1μm量级像素的相位空间光调制器。它的一个典型应用是高空间带宽积的全息视频显示。

补充资料

DOI:10.3788/aos202040.0305001

作者单位:

    安徽大学计算智能与信号处理教育部重点实验室
    安徽大学
    安徽大学计算智能与信号处理教育部重点实验室
    安徽大学计算智能与信号处理教育部重点实验室

引用该论文

沈川,韦穗,虞海秀,陶 波. 基于亚波长光栅结构的硅基液晶器件模型研究[J].光学学报,2020,40(03):0305001.

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